标签: 蚀刻加工

微反应器的现代制造技术

可用于制造微反应器的微加工技术当前,下列技术已经广泛应用于制造微反应器[1]:(1)采用低压等离子或离子束(活性离子蚀刻、活性离子束蚀刻)技术的干法蚀刻加工;(2)深层平版印刷、电成型和电铸,激光辐射机械加工(LIGA过程)的组合技术;(3)显微成型技术,如利用精密加工技术制备的模具插件;(4)玻璃… Read More »